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上記作動体１３の基端部には、上記ハウジング１２によって構成されるシリンダ構造１２ｓの内部に配置され、上記流体供給口１２ｐから供給される流体により生ずる流体圧を受ける受圧部１３ｄが設けられる。図示例では、受圧部１３ｄは、筒形状の作動体１３の軸線方向基端側の端面により構成される。上記受圧部１３ｄから軸線方向先端側に向かう作動体１３の外面部分には、上記シリンダ構造１２ｓの内面（軸線１０ｘに沿った内面部分）と軸線方向に移動可能に摺接するシリンダ摺接部１３ｓが設けられる。シリンダ摺接部１３ｓと上記シリンダ構造１２ｓの内面との間にパッキンなどの変形可能なシール部材１３ｉが介在することにより、作動体１３のシリンダ摺接部１３ｓはシリンダ構造１２ｓに対して気密に構成される。
この場合において、前記流体供給手段は圧力調整器を備え、上記制御部は、前記圧力調整器を制御することにより前記流体圧を調整可能に構成されることが好ましい。このとき、前記作動体位置検出手段、前記把持態様検出手段、或いは、前記把持対象物検出手段の少なくとも一つの検出結果に応じて前記流体圧を調整することが望ましい。また、上記制御部は、前記コレット位置検出手段と前記把持態様検出手段の少なくとも一方の検出結果に基づいて、前記ユニット駆動系を制御し、前記ハンドリングユニットの位置又は姿勢を修正することが好ましい。さらに、上記制御部は、前記作動体位置検出手段、前記把持態様検出手段、又は、前記把持対象物検出手段の検出結果に基づいて、前記フィンガー部により把持した前記把持対象物に対する処理内容を複数の選択肢の中から選択することが好ましい。このとき、前記制御部は、選択された前記処理内容に応じて前記流体供給手段と前記ユニット駆動系の少なくとも一方を制御することが望ましい。
清 梁章鉅 《歸田瑣記·張孟詞貢士》：“ 阮蕓臺 師哭 孟詞 云：‘ 張孟詞 志趣高潔，風儀峻朗，博聞元覽，穎秀邁倫。’”
上記制御部１０１は、種々の構成を採ることができる。例えば、ＭＰＵ（マイクロプロセッサユニット）によって実行されるハンドリング装置１００の動作プログラムによって、制御部１０１が各部を制御するように構成してもよい。この動作プログラムは、上記検出信号Ｓｓ、Ｓｃ、Ｓｄ、Ｓｔによってハンドリングユニット１０の状況を把握し、この状況に応じて、圧力調整器Ｐ１，Ｐ２の圧力値、開閉弁Ｖ１、Ｖ２の開閉状態、ユニット駆動系を含む上記駆動部Ｍ１，Ｍ２，・・・，Ｍｎを制御する。上記動作プログラムは、制御部１０１において、以下の各処理を実行する機能実現手段１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄなどを構成する。
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さらに、本実施形態では、コレット１１がハウジング１２内の軸線方向の既定の範囲で移動可能に構成されるため、ハンドリングユニット１０が把持対象物へ向けてアクセスする際において、ハンドリングユニット１０の位置制御不良、把持対象物の配置不良・形状不良などによってフィンガー部１１ｃが外部との間で異常な干渉を生じた場合でも、軸線１０ｘに沿った軸線方向基端側への後退によってコレット１１の損傷を回避することができる。また、その回避動作によっても、上記基準部１１ａと支持面部１３ｂの摺接構造によってコレット１１の軸線１０ｘに対する同軸状の位置及び姿勢は保持されるため、その後の作動精度が低下する虞はない。
引清 梁章鉅 《归田琐记·张孟词贡士》：“阮芸臺 师哭 孟词 云：‘ 张孟词 志趣高洁，风仪峻朗，博闻元览，颖秀迈伦。’”
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本発明に係る第１実施形態のハンドリングユニットの縦断面図（図２のＸ－Ｘ線に沿った断面図）である。 第１実施形態のハンドリングユニットの正面図である。 第２実施形態のハンドリングユニットの縦断面図（ａ）及び背面図（ｂ）である。 第３実施形態のハンドリングユニットの縦断面図である。 第４実施形態のハンドリングユニットの縦断面図（ａ）及び背面図（ｂ）である。 第５実施形態のハンドリングユニットの縦断面図（ａ）、平面図（ｂ）及び正面図（ｃ）である。 第６実施形態のハンドリングユニットの正面図（ａ）及び縦断面図（ｂ）である。 第７実施形態のハンドリングユニットの正面図（ａ）及び縦断面図（ｂ）である。 ハンドリングユニットを備えたハンドリング装置の概略構成を示すブロック図である。 把持対象物に対するハンドリングユニットの把持作動時の様子を示す説明図である。 次に、添付図面を参照して本発明の実施形態について詳細に説明する。最初に、図１及び図２を参照して、本発明に係る基本的な構成を有する第１実施形態の構成について説明する。本実施形態のハンドリングユニット１０は、コレット１１と、このコレット１１を収容するハウジング１２と、ハウジング１２の内部においてコレット１１に作用する作動体１３とを具備する。
本発明において、前記作動体では、前記シリンダ摺接部と前記シリンダ構造の内面とが気密に構成される軸線方向の範囲に対して、相互に重なる軸線方向の範囲に前記コレット摺接部が設けられることが好ましい。ここで、前記シリンダ側摺接部と前記シリンダ構造の内面とが気密に構成される軸線方向の範囲は、前記シリンダ側摺接部と前記シリンダ構造の内面との間に単一のシール部材のみが配置される場合には当該シール部材が配置される軸線方向の範囲、或いは、複数のシール部材が配列される場合には、複数のシール部材の間の相互に最も離れたシール部材の間にわたる軸線方向の範囲である。
前記筒体の内部に隙間を有して収容され、先端部が前記筒体の先端より突出している内側の軸体と、
次に、上記とは別の機能実現手段１００Ｂについて説明する。この機能実現手段１００Ｂは、排気装置又は流体供給源１０４の圧力調整器Ｐ２の圧力値及び開閉弁Ｖ２の開閉状態を制御することにより、把持対象物をコレット１１により適切な把持状態で把持できるように制御する手段である。なお、排気装置１０４を用いる場合には、第２実施形態で説明したように、スリット１１ｓ内に変形可能なシール材を配置して、コレット１１の軸孔１１ｘ内の圧力が低下しやすくなるように構成することが好ましい。この排気装置１０４を用いる場合には、例えば、制御部１０１の制御下のユニット駆動系の作動によってハンドリングユニット１０が把持対象物Ｐに近づいたとき、把持動作前に、制御部１０１の制御信号Ｒｖ２により開閉弁Ｖ２を開弁して、通気口１２ｑを介して軸孔１１ｘの内部の排気を開始する。これにより、コレット１１の先端の複数のフィンガー部１１ｃの間の開口領域に吸引力が生じるため、把持対象物が複数のフィンガー部１１ｃの間に吸引されることにより把持面１１ｇの間の把持位置に導かれる。この場合、上記吸引力によって把持対象物が開口領域内に容易に導かれるように、フィンガー部１１ｃの先端の把持位置の側の角部（図示例では内側角部）にテーパー状のガイド部を設けることが好ましい。
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